学术沙龙2014年第五场学术沙龙主题报告报告定于5月29日（周四）16:00在格致楼5004报告厅举行，报告人为中国科学院电工研究所韩立研究员，届时请各位老师同学参加。

报告题目: 电子束技术及其应用

报告人： 韩立

（中国科学院电工研究所研究员，微纳加工研究部主任，电工所所长助理，北京市生 物电磁重点实 验室副主任，电子显微学会电子光学分委员会副主任、纳米标委会微纳加工工作组副秘书长）

时间： 2014年5月29号下午4:00

地点： 格致楼5004报告厅

报告人简介：

韩立，男 汉族，中国科学院电工研究所研究员。1970年9月出生于甘肃省临洮。1988年9月考入拉斯维加斯0567官方网站物理系金属物理专业，1992年获得理学学士学位。同年9月考入拉斯维加斯0567官方网站物理系半导体物理专业攻读硕士学位，硕士期间的研究课题为微波等离子法生长金刚石薄膜。1995年获得理学硕士学位。1995年9月考入清华大学物理系固体物理研究所攻读博士学位，博士期间的研究课题为利用扫描探针显微镜进行纳米加工的研究，1999年获得理学博士学位。2000年4月在清华大学力学系热物理教研室进行博士后研究工作，研究的主要课题为利用扫描热显微镜进行微区热分析研究，2002年5月博士后出站。2002年7月~2003年3月在科学院电工所微纳电加工组从事微米/纳米加工和测量研究。负责电子束曝光设备的研制和高压电子束曝光特性的研究，2003年到现在作为课题组负责人负责科学院电工所电子束曝光技术组的科学研究。

研究领域：纳米加工技术、表面分析、仪器设备（包括生命科学仪器）、表面物理。

1、2010年完成国家“973”项目“重要纳米检测技术的标准化”课题“纳米检测仪器设备的量值溯源研究和标准的制定”（课题编号2006CB932501）任务

2、2005年完成中国科学院知识创新重大项目——纳米级电子束曝光系统实用化研究

3、2005年完成科学院仪器改造项目——高压纳米级电子束曝光系统。

4、2001年参加了“863”项目“ GaN半导体光电材料的规模化关键生产技术的检测设备”研制工作

5、目前承担着“智能电网高压芯片封装与模块技术研发及产业化” 项目课题（课题编号2011ZX02603-003），和“32nm以下设备关键技术研究及创新设备技术探索”项目课题（课题编号2009ZX02037-006）以及 “柴油发动机NOx传感器研制”和“大型变压器局放在线检测系统的研制”等4个横向研究课题。